河北首台套生产金刚石高端装备在围场下线

河北(héběi)日报客户端讯（记者陈宝云）5月30日，我省(wǒshěng)首台套金刚石微波等离子体(děnglízǐtǐ)化学气相沉积（MPCVD）高端装备在围场满族蒙古族自治县下线。

据了解，传统金刚石制备技术(jìshù)长期依赖进口装备，成本高、工艺受限。由河北投实晶铠科技有限公司自主研发的MPCVD高端装备通过优化微波等离子体参数，将金刚石单晶(dānjīng)沉积(chénjī)速率提升，达到(dádào)国际领先水平。

“我们依托围场富集(fùjí)的绿电资源，采用绿电耦合技术，设备综合能耗降低40%，可生产出纯度达99.999%的高品质金刚石，满足半导体(bàndǎotǐ)级应用需求。装备可连续作业2000小时无故障，为规模化生产奠定基础，真正实现了技术自主可控(kěkòng)和‘绿电造绿钻(zuān)’零碳闭环生产，实现经济效益(jīngjìxiàoyì)与环境效益双赢。”河北投实晶铠科技有限公司技术总监吴伟庆(wúwěiqìng)说。

金刚石作为半导体终极材料，具有硬度高、耐腐蚀性强、导热性能优异(yōuyì)等特性。“全球金刚石装备市场正在以(yǐ)年均25%增速扩张，而传统工业制造面临纯度低和能耗高等技术短板，MPCVD技术恰好破解了这些难题。”承德凯捷新能源科技有限公司(yǒuxiàngōngsī)总经理申伟东说，凯捷公司决定与投实晶铠公司深度合作，利用园区(yuánqū)资源优势，实现绿电(lǜdiàn)高效(gāoxiào)利用，绿色材料反哺，绿色能源价值跃升。

围场作为“国家首批(shǒupī)绿色能源示范县”，清洁能源并网总量已达748.81万千瓦。近年来，围场积极布局金刚石产业，通过(tōngguò)精准招引与深度合作，对接清华大学等知名院所，着力打造(dǎzào)“钒锂电池+氢能利用+装备制造”特色(tèsè)产业，因地制宜(yīndìzhìyí)培育新质生产力，聚焦MPCVD设备及高端金刚石制造领域，创新提出“点石成金”“阳光制绿氢”“绿电造绿钻”等新能源消纳特色方案，将(jiāng)清洁电力与玄武岩加工、光敏半导体耦合(ǒuhé)制氢、半导体级金刚石制备等产业深度融合，实现资源就(jiù)地转化，推动产业集群化、高端化发展。